极紫外和软X射线光波拥有极短波长和丰富的元素吸收边，是研究纳米结构，半导体器件，量子材料必不可少的工具。随着极紫外光刻技术实现量产，极紫外光应用也正式“走入”千家万户。然而，迄今为止，高效率低成本产生极紫外和软X射线光仍是困扰科学家们的一个重要难题。虽然同步辐射加速器和自由电子激光器等大型光源可解决极紫外或软X射线应用的燃眉之急，但是其高能耗、高造价大体积和有限的数量限制了其广泛应用。另辟蹊径，基于极端非线性的飞秒高次谐波技术已经成为产生极紫外和软X射线激光的最简易方法。经过20多年技术磨练和积累，高次谐波光源已经在材料科学和半导体芯片检测等领域应用中初露锋芒。本报告将从极紫外激光技术的难点出发，讨论高次谐波极紫外激光技术的原理及其发展现状，并介绍其在纳米成像，半导体检测以及量子器件中的重要应用。

张晓世，中国科学院空天信息创新研究院研究员，博士生导师，中国科学院大学首席教授，国家高层次人才。中国科学技术大学学士，美国科罗拉多大学博尔德分校，美国国家标准局和实验室天体物理联合实验室联合培养博士。

张晓世研究员长期从事飞秒激光，极紫外激光，极端非线性光学以及相干衍射成像等领域的研究及其工程化和商业化应用，已逾20余年。曾任职于美国知名超快激光器公司KMLabs Inc.，先后担任激光科学家，极紫外激光技术经理和研发首席科学家。带领团队研发出世界上首台极紫外飞秒激光器，并实现商业化。研制出创世界纪录的低温冷却高能量和高重频飞秒激光器，斩获2016年美国西部光电展会颁发的Prism Award奖和2013年美国CLEO展会颁发的Laser Focus World创新一等奖。曾在PRL、Nature Physics、Nature Photonics、Optica等国际知名期刊发表论文共50余篇，被SCI引用逾5000次，在国际国内重要的学术会议上做邀请报告20多次。曾担任Optics Letters的co-editor、SPIE Advanced Lithography分会委员会委员以及SPIE Photonics Asia，CIOP委员会委员。

张晓世研究员目前以项目负责人承担国家重点研发十四五揭榜挂帅项目“高功率、高性能极紫外飞秒激光技术”、国内知名公司项目“13.5纳米高次谐波极紫外光源”以及中科院创新人才项目。